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  • PR-3離子去膠機(jī)

    離子去膠機(jī) 型號：PR-3 通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等部分組成。

    更新時間：2024-02-26
    產(chǎn)品型號：PR-3
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